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日本真空光学では、レーザー用コーティング技術の開発を1970年代から開始し、これまでレーザー加工機、顕微鏡、半導体検査装置といった分野で利用されており、レーザー技術の発展に貢献してきました。
レーザー用コーティングは、吸収・散乱を抑えた低損失及び部品の損傷を防ぐためにレーザー耐力が高い事が要求されます。 日本真空光学では、お客様の使用されるレーザーの種類から、最適な成膜物質(フッ化物、酸化物）と成膜プロセスの選定（真空蒸着、IAD、IBS）、電界強度を考慮した薄膜設計を行っています。 それらの結果として、レーザー技術総合研究所で実施されておりますレーザー損傷閾値データベース化試験において、常にトップクラスの評価を受けております。
今後も高耐力レーザーミラー・ARコーティングの開発に取り組み、 レーザー技術の発展に寄与し続けます。
レーザー損傷閾値の結果