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DLCコーティング

赤外域用フィルター

特徴



DLCコーティング(硬質炭素膜(DLC:Diamond Like Carbon)による高耐久性反射防止膜。

独自のプラズマCVD法を用いてDLCの作製を行っています。DLCはIR高透過性、高耐久性という二つの特長を併せもっており、赤外画像素子用窓、レンズのコート、CO2レーザー加工機用保護窓等の用途に適しています。

特性例



IR高透過性
DLCはIR領域で透明であり、かつその屈折率がおよそ2.2であることから、
Ge、Si基板に対して反射防止膜として有効です。


高耐久性
高硬度、かつ耐摩耗性にすぐれており、保護膜として有効です。
 

耐湿性 : 85・C / 85%Rh 600Hr 変化なし
耐剥離性 : MIL-C-48497A 4.5.3.1 OK
耐塩水性 : 85・C / 5wt% / 24Hrs OK
最大成膜可能サイズ : φ400

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