ガス分析・検出用フィルター
（Gas analysisi and detctions)
ガス分析・検出用フィルターの紹介を致します。
原理
ガスを分析、検出する方式はいくつかあり、その中で赤外線吸収式と呼ばれる方式には光学フィルターが用いられます。
図１には赤外線吸収式ガスセンサーの構成を示しています。
試料室の片側に光源、逆側に受光部が配置され、受光部の手前に光学フィルターを置きます。
そして試料室に測定ガスを流す構造となっています。多くのガスは赤外線領域においてそれぞれ固有の波長で光を吸収する性質があります（表１）。
そのため、測定室にガスが入ると、光源の光のうちガスの吸収域の光はガスに吸収され透過率が低下することになります。受光素子は、光源から到達する光量を検知することによって、ガス量を定量することができます。一方で受光素子は幅広い波長域で感度があり、受光素子単体ではガスの検知は可能ですがガス種を識別することができません。
光学フィルターはガス種の識別を行うために使用されます。例えばメタンガスを選択的に検知したい場合、
メタンの吸収端である
3.3μmの光を選択的に透過するフィルターを受光部にセットすることによって、受光センサー部には
3.3μ
m以外の光は検知しないようになります。
そのため他のガスが混合した状況でも、メタンガスを選択性良く検知できるようになります。
特徴
検知したいガス、濃度、また周囲の環境は、お客様によってさまざまです。
我々はお客様の要望に応じて、下記項目について個別対応いたします。
分光特性：透過帯域（半値幅、最大透過率）、阻止帯域（波長域、阻止性能）
材質：Ge,
Si, サファイア, 石英 etc.
サイズ：角形、丸形
数量：1枚から量産まで対応いたします。
耐久性：弊社の製品は切断して使用することができます。
ウェハ状態で納入し、お客様自身で切断して使用することもできます。弊社で切断して納入もできます。
品質保証：ご要望にお応えします。恒温恒湿試験、ヒートサイクル試験、耐熱試験、煮沸試験、付着力確認試験
用途
ガス分析 ガス警報器 ガス検知器
特性例
