導入事例詳細

レンズの表面には光量の減少を防ぐため、通常、反射防止膜が施されます。その場合、曲率の小さなレンズへのコーティングでは、ほぼ平面基板へのコートの場合と同じ取り扱いで済ませる事は可能です。しかし、曲率及びサイズも大きな場合は同様のコーティングでは反射防止膜特性がレンズ面内の各所で膜厚の違いが起こる事により、特性、その他色ムラが発生し適正な特性を得る事が出来ません。そこで日本真空光学では特殊な製法を用いて膜厚をコントロールする事に依りレンズ面内における特性を均一化する技術を開発しました。この技術は宇宙観測用にも利用されております。
また、産業用途では、露光装置など精度を必要とされる描画システムなどのレンズへのコーティングなどで効果を発揮できるものと思います。