特徴

DLCコーティング(硬質炭素膜; Diamond Like Carbon)による高耐久性を有する反射防止膜の作製が可能です。当社独自のプラズマCVD法を用いたコーテイングにて、中間赤外線領域(MIR)における高透過率性、および高耐久性の二つの特徴を併せ持ちます。

Ge、Si、石英、ガラス、カルコゲナイド等への基板材料へのコーテイングが可能です。また、平板に限らず、レンズ材料への対応も行っておりますのでご相談下さい。

用途

赤外画像素子用窓、赤外線を使用した光学系の組み合わせレンズ、CO2レーザー加工機用の窓材等

特性例

高透過率性

DLCは中間赤外線領域(MIR)にて透明であり、GeやSi基板に対して高透過率の反射防止膜が得られます。

高耐久性

高硬度、かつ耐摩耗性に優れた膜表面が得られ、最外層の保護膜として使用できます。また、耐湿性や耐塩水性についても優れた膜質を有します。

耐湿性 ： 85・C / 85%Rh 600Hr　変化なし
耐剥離性 ： MIL-C-48497A 4.5.3.1　OK
耐塩水性 ： 85・C / 5wt% / 24Hrs　OK
最大成膜可能サイズ ： φ400

特徴

ハードコートのバンドパスフィルターはプラズマイオンプロセスを用いたコーティングにより優れた耐久性を有しています。

その特性は薄膜の界面で発生する反射光の干渉現象を利用し、特定の波長を任意に選択透過させる事ができます。

吸収型の色硝子、ゼラチン等のフィルターと比較して透過する帯域を狭く限定でき、急峻に透過帯と阻止帯を分離できますので、コントラストのきわめて明瞭な特性が得られます。阻止性能について、可視領域ではOD6以上対応が可能です。対応波長域は紫外線領域～赤外線領域まで対応可能です。
その他、ご希望のサイズ、透過率、阻止帯域等のご要望に対応致します。

用途

LiDAR、3Dセンシング、蛍光分析、ラマン分析、露光装置、医療、ガス分析、レーザー、光通信、天体観測、各種センサーなど

特性例

中心波長の定義

バンドパスフィルターの中心波長（λ0）の定義については、下記2つのタイプに大別されます。
ソフトコートのバンドパスフィルターについては対象製品によってタイプが異なりますので、ご参考にして頂ければと思います。
ハードコートのバンドパスフィルターについてはお客様のご要求に合わせて設計します。

タイプ①

タイプ②

特徴

赤外線フィルタ―は、赤外線領域を透過させるフィルターです。赤外線領域は、約0.7～2.5μm帯の近赤外線(NIR)、2.5～25μm帯の中間赤外線(MIR)、そして25～1000μm帯の遠赤外線(FIR)の3つの領域に大別されます。

赤外線の応用分野は、防犯から天文天体観測、センサーなど非常に広範な用途に利用されています。特に中間赤外線では、透明な高屈折率基板材料があり、また、分光吸収を利用して、可視領域に比べて広帯域な遮断特性を得られるため、多様な特性の多層膜干渉フィルターを作製可能です。
高屈折率基板材料としては、石英、サファイア、Si、Ge、カルコゲナイド等があり、要求される分光特性や耐久性を考慮し、使用する材料を選択可能です。また、透過させるフィルターだけで無く、上記領域を反射させるミラーの作製も可能です

用途

各種ガス分析(CO2、CO、HC、NOx、SOx、O3ガス等）、地表計測、放射温度計(サーモグラフィー、温度センサー）、回折格子の高次カットフィルター、人感センサー、その他赤外線を利用した光学系やカメラ等

特性例

特徴

金、銀、アルミなどの金属膜を各種基板へコーティングします。

金属膜は一般的にミラーとして様々な光学系に使用されております。金属膜はキズが付きやすく、手拭き洗浄でキズが入ることがあります。また、環境によっては酸化が進む為、最終層にSiO2の保護膜を付けることが一般的です。

当社では平面基板に限らず、大面積基板や異形状の基板にコーテイング可能です。

赤外線イメージセンサーを高感度に保つ為に必要な真空封止に適したハンダ付け用のメタライズ加工も行っております。

用途

金属薄膜ミラー,ハンダ封止など

様々な種類の金属でコーティング実績があります。
金(Au), 銀(Ag), アルミ(Al), 銅(Cu), クロム(Cr), 白金(Pt), ニッケル(Ni), チタン(Ti), タングステン(W), モリブデン(Mo), タンタル(Ta), ハフニウム(Hf), ニオブ(Nb)など

特性例

近赤外用金ミラー

アルミミラー