特徴

DLCコーティング(硬質炭素膜; Diamond Like Carbon)による高耐久性を有する反射防止膜の作製が可能です。当社独自のプラズマCVD法を用いたコーテイングにて、中間赤外線領域(MIR)における高透過率性、および高耐久性の二つの特徴を併せ持ちます。

Ge、Si、石英、ガラス、カルコゲナイド等への基板材料へのコーテイングが可能です。また、平板に限らず、レンズ材料への対応も行っておりますのでご相談下さい。

用途

赤外画像素子用窓、赤外線を使用した光学系の組み合わせレンズ、CO2レーザー加工機用の窓材等

特性例

高透過率性

DLCは中間赤外線領域(MIR)にて透明であり、GeやSi基板に対して高透過率の反射防止膜が得られます。

高耐久性

高硬度、かつ耐摩耗性に優れた膜表面が得られ、最外層の保護膜として使用できます。また、耐湿性や耐塩水性についても優れた膜質を有します。

耐湿性 ： 85・C / 85%Rh 600Hr　変化なし
耐剥離性 ： MIL-C-48497A 4.5.3.1　OK
耐塩水性 ： 85・C / 5wt% / 24Hrs　OK
最大成膜可能サイズ ： φ400

特徴

金、銀、アルミなどの金属膜を各種基板へコーティングします。

金属膜は一般的にミラーとして様々な光学系に使用されております。金属膜はキズが付きやすく、手拭き洗浄でキズが入ることがあります。また、環境によっては酸化が進む為、最終層にSiO2の保護膜を付けることが一般的です。

当社では平面基板に限らず、大面積基板や異形状の基板にコーテイング可能です。

赤外線イメージセンサーを高感度に保つ為に必要な真空封止に適したハンダ付け用のメタライズ加工も行っております。

用途

金属薄膜ミラー,ハンダ封止など

様々な種類の金属でコーティング実績があります。
金(Au), 銀(Ag), アルミ(Al), 銅(Cu), クロム(Cr), 白金(Pt), ニッケル(Ni), チタン(Ti), タングステン(W), モリブデン(Mo), タンタル(Ta), ハフニウム(Hf), ニオブ(Nb)など

特性例

近赤外用金ミラー

アルミミラー