Products & Solutions
DLCコーティング
Features
特徴
DLCコーティング(硬質炭素膜; Diamond Like Carbon)による高耐久性を有する反射防止膜の作製が可能です。当社独自のプラズマCVD法を用いたコーテイングにて、中間赤外線領域(MIR)における高透過率性、および高耐久性の二つの特徴を併せ持ちます。
Ge、Si、石英、ガラス、カルコゲナイド等への基板材料へのコーテイングが可能です。また、平板に限らず、レンズ材料への対応も行っておりますのでご相談下さい。
Usage
用途
赤外画像素子用窓、赤外線を使用した光学系の組み合わせレンズ、CO2レーザー加工機用の窓材等
Example
特性例
高透過率性
DLCは中間赤外線領域(MIR)にて透明であり、GeやSi基板に対して高透過率の反射防止膜が得られます。
高耐久性
高硬度、かつ耐摩耗性に優れた膜表面が得られ、最外層の保護膜として使用できます。また、耐湿性や耐塩水性についても優れた膜質を有します。
耐湿性 ： 85・C / 85%Rh 600Hr 変化なし
耐剥離性 ： MIL-C-48497A 4.5.3.1 OK
耐塩水性 ： 85・C / 5wt% / 24Hrs OK
最大成膜可能サイズ ： φ400
