ビームスプリッター（プリズム）

特徴

任意の比率で透過光と反射光を分離する光学部品です。入射光からp偏光とs偏光を分離したり（PBS：偏光ビームスプリッター）偏光依存性の少ないタイプ（N-PBS：無偏光ビームスプリッタ）も製作できます。

用途

レーザー加工機、計測機器、半導体露光装置、FPD露光装置、カメラなど

特性例

PBS（Polarization Beam Splitter）

キューブ型
二つの直角プリズムを貼り合わせて、片方のプリズムの斜面に誘電体多層膜を施す事によりP,S偏光成分を分離します。紫外域から近赤外域の単波長や可視域全域のP,S偏光成分を分離します。波長、入射角、消光比はお客様のご要求に合わせて設計します。オプティカルコンタクト品もご用命賜ります。

プレート型
基板上に誘電体多層膜を施すことにより、紫外域から近赤外域の波長範囲内で単波長若しくは狭い範囲の波長のP,S偏光成分を分離する事が出来ます。波長、入射角、消光比はお客様のご要求に合わせて設計します。耐光性、耐熱性に優れており、レーザー用途に適しています。

BS（Beam Splitter）

基板上に誘電体多層膜を施すことにより、紫外域から赤外域の波長範囲内で特定の波長を任意の比率で2方向へ分離する事ができます。波長、入射角、消光比はお客様のご要求に合わせて設計します。