日本真空光学株式会社 - Optical Coatings Japan
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管理・工程

製造工程

プラズマイオンプロセス技術を核とした弊社の技術体系こそが、技術開発型企業である日本真空光学の根幹をなすものです。弊社は、全行程を通して独自の技術力を発揮し、完結力ある設計・製造プロセスを具現化し、お客様満足度の高い製品作りを実現しています。

[ 1 ] 設計

お客様よりの技術課題を十分に理解した上で、弊社独自のプログラミングによって薄膜光学製品を設計します。得られた設計をもとに弊社ご提案とあわせ様々な角度から、お客様との検討によって最適仕様へと設計を完成させます。

設計

[ 2 ] 在庫入庫・受入検査

ガラス素材を核に、ゲルマニウム、シリコン等、設計に適した材質と、加工に適した寸法の素材を手配します。入手時、必要に応じ素材の寸法、分光特性等の受入検査を行います。

受入検査

[ 3 ] 洗浄

確実な蒸着工程のために、超音波洗浄によって不純物を除去し、基板表面の清浄化をはかります。

洗浄洗浄

[ 4 ] 冶具へ装着

安定した蒸着をはかるため、基板を独自設計のドーム型冶具にセットします。

冶具へ装着

[ 5 ] コーティング

高精度膜厚制御のもと、コーティング装置内で蒸着法、スパッタリング法により基板上に成膜いたします。

真空排気
真空ポンプを利用し蒸着に適した真空度まで蒸着装置内の大気を排気します。

コーティング
ユーザーとの検討により完成された最適設計を弊社の制御技術、コーティング
技術により成膜します。

大気導入
成膜された製品を大気中へ取り出し、次工程へ。

[ 6 ] 切断

光ピックアップ用のミラー・フィルター等は、ダイシングマシンによって寸法精度の高い微小な寸法に切断されます。

切断切断

[ 7 ] 接着

光学特性の複合化・補正のためエポキシ系又は紫外線硬化型接着剤で精密な接着が行われます。

[ 8 ] 出荷検査

製品完成後、分光特性、位相特性、面精度、寸法、外観等の厳しい検査を実施します。

出荷検査出荷検査



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