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要求される光学特性を実現するためには、基板上に設計通りの薄膜を正確に積層する必要があります。時には数百層にもおよぶ多層薄膜を精度良く積層するには安定した成膜プロセスと正確な膜厚制御が必要になってきます。成膜中の膜厚制御の方法として、水晶振動子を利用した膜厚制御方式や、光学モニターを使用する方法などがあります。弊社では、独自の光学モニターシステムを利用し生産を行なっております。これは成膜中に随時変化する光信号をコンピュータを用いて解析、処理することにより目標の膜厚を正確に成膜することができます。このシステムを利用することで加工開始から終了まで全自動で生産することができ、紫外域から可視域、赤外域まで及ぶ幅広い波長範囲内において、お客様の要望される各種フィルターを再現良く安定生産することを可能にしました。
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