日本真空光学株式会社 - Optical Coatings Japan
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製品ラインナップ

深型コールド・ミラー
深型コールド・ミラー

特徴

お客様より実際の光源使用状態で膜剥離の無い高い信頼性のご評価を頂いております。何らかの原因で空冷ファンが停止し、光源部の温度が500℃以上まで上がっても、膜剥離が起きることはありません。表面の硬度も十分であり、使用中ミラー表面が汚れても市販の有機溶剤とともに拭き取れば、再び性能は復帰します。直径Φ50〜Φ540までの実績があります。

用途

可視光から紫外光の反射鏡を作成致します。紫外光反射の反射鏡は紫外線硬化用光源やステッパーの紫外露光用光源の反射鏡に使用されています。


特性例

図

      入射角45°測定 / 面内の光学特性ムラ(535Φ反射鏡)



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